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發(fā)布日期: 2020-12-09 瀏覽人數(shù):
拋光壓力的主要作用是影響工件與拋光墊之間拋光液層厚度,工件表面與拋光液之間的接觸主要包括以下三種狀態(tài).滑動(dòng)接觸狀態(tài)、半接觸狀態(tài)、直接接觸狀態(tài);瑒(dòng)接觸狀態(tài)時(shí),拋光壓力較小,工件表面與拋光墊之間的間隙較大,拋光液層的厚度較大,表面上的摩擦力相對(duì)較小,拋光壓力穩(wěn)定,從而獲得工件的表面質(zhì)量較好,但是,這種情況下,工件的去除率比較低,拋光效率比較差。在半接觸狀態(tài)時(shí),拋光壓力達(dá)到合適的值,拋光液層的厚度剛好,能充分發(fā)揮了其潤(rùn)滑作用,既能有效地生成反應(yīng)物又能將反應(yīng)物快速地從工件上去除,還能很好地傳遞壓力,拋光壓力穩(wěn)定,因此該情況下,拋光液層模型是最佳的,能獲得很好的拋光質(zhì)量和較高的拋光效率。在直接接觸狀態(tài)時(shí),拋光壓力過(guò)大,拋光墊與工件表面直接接觸,兩者之間幾乎沒(méi)有拋光液,屬于固體接觸,摩擦力很大,容易劃傷工件表面,同時(shí)造成拋光壓力的不穩(wěn)定。
由摩擦學(xué)可以得知,當(dāng)拋光壓力過(guò)大時(shí),拋光液中磨粒劃過(guò)工件表面會(huì)產(chǎn)生較深的劃痕,容易造成工件表面的劃傷,同時(shí)易使工件發(fā)生翹曲,產(chǎn)生局部過(guò)拋現(xiàn)象,將使得工件表面損傷層加大,導(dǎo)致工件表面質(zhì)量嚴(yán)重下降,而且拋光壓力非常不穩(wěn)定。拋光層間的拋光液少,摩擦力增大產(chǎn)生大量的熱,得不到很好的潤(rùn)滑作用以及散熱作用,產(chǎn)生局部溫度梯度,導(dǎo)致化學(xué)作用增強(qiáng),拋光速率加大,使拋光壓力變化加大,更容易產(chǎn)生桔皮紋等拋光缺陷。
所以,拋光壓力是拋光過(guò)程中一個(gè)重要變量。